VA-3200晶圓影像檢測系統

【特點】
•探頭相容性：VA-3200影像檢測系統設計為安裝在探頭機器上，允許工程師和操作員在熟悉的設備環境中使用。
•簡化操作流程：系統和針試機的集成允許用戶使用現有的操作介面設定影像參數，减少了新系統的學習曲線。
•避免晶圓破損風險：由於不需要直接接觸晶圓進行拾取和放置，囙此有效地防止了晶圓破損的風險。
•提高操作便利性：熟悉針測試機的工程師和操作員可以更容易地開始，保持檢查過程的效率和安全性。

【產品優勢】
1.高品質的圖像捕捉
◦線掃描相機：使用線掃描相機，它提供了大視場（FOV）和快速掃描能力，可以在短時間內完全捕獲整個晶片的影像。
◦3倍鏡頭：與高倍率鏡頭配合使用，可以產生高品質的影像，顯著提高缺陷特徵的識別率。
2.高精度缺陷檢測
◦檢測精度達到5μm：具有高精度檢測能力，可以準確識別晶圓表面的微小缺陷，包括异物（顆粒）、劃痕（劃痕）、焊盤异常和凸塊异常。